XPS是测量样品表层信息，而且可以拟合得到化合物元素组分比，而EDX是SEM带的波谱仪附件，也是测量样品元素组分的，是每个区域的平均值，一.EDS与XPS的相同点两者均可以用于元素的定性和定量测试，二.EDS与XPS的不同点1.基本原理不一...
